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发明名称 PLASMA TREATMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH10147879(A) 申请公布日期 1998.06.02
申请号 JP19960320886 申请日期 1996.11.15
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TANAKA TSUTOMU;TOYODA KAZUYUKI;SUDA ATSUHIKO;MAKIGUCHI KAZUMASA
分类号 H05H1/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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