| 发明名称 |
EPITAXY REACTOR WITH WALL PROTECTED AGAINST DEPOSITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0137875(B1) |
申请公布日期 |
1998.06.01 |
| 申请号 |
KR19890003485 |
申请日期 |
1989.03.21 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
FRIJLINK, PETER |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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