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发明名称 ALIGNER EQUIPPED WITH ANNULAR ILLUMINATION SYSTEM FOR ANNULAR ILLUMINATION LIGHT WITH LARGE ILLUMINANCE
摘要
申请公布号 KR0139138(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19940029755 申请日期 1994.11.14
申请人 NIPPON DENKI CORP. 发明人 HUKUZAWA, SINICHI
分类号 G02B13/14;G02B13/24;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 G02B13/14
代理机构 代理人
主权项
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