发明名称 FABRICATION METHOD OF CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR0138292(B1) 申请公布日期 1998.06.01
申请号 KR19940007532 申请日期 1994.04.11
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 PARK, WON-MO;LEE, SEUNG-KOO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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