发明名称 DRY ETCHING METHOD AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY
摘要
申请公布号 JPH10140377(A) 申请公布日期 1998.05.26
申请号 JP19960302211 申请日期 1996.11.13
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OIKE KAZUO
分类号 G02F1/13;C23F4/00;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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