发明名称
摘要
申请公布号 JP2757864(B2) 申请公布日期 1998.05.25
申请号 JP19860156834 申请日期 1986.07.03
申请人 ROOMU KK 发明人 HIGUCHI YASUYUKI;OKADA TOORU
分类号 H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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