| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10135443(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19960284925 |
申请日期 |
1996.10.28 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
MURAMOTO YOSHIFUMI;KATO KAZUTOSHI |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/06;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8232;H01L23/52;H01L27/06;H01L27/15;H01L31/02;(IPC1-7):H01L27/15 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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