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发明名称 ORGANIC METAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10135141(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960289428 申请日期 1996.10.31
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 NAKANO TOMOIKU
分类号 C30B25/14;C23C16/18;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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