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经营范围
发明名称
SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10132524(A)
申请公布日期
1998.05.22
申请号
JP19960292089
申请日期
1996.11.01
申请人
FUJITSU TEN LTD
发明人
DOI TAKAHIRO
分类号
G01B11/02;G01R31/28;H05K3/00;(IPC1-7):G01B11/02
主分类号
G01B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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