发明名称 SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10132524(A) 申请公布日期 1998.05.22
申请号 JP19960292089 申请日期 1996.11.01
申请人 FUJITSU TEN LTD 发明人 DOI TAKAHIRO
分类号 G01B11/02;G01R31/28;H05K3/00;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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