| 发明名称 |
FLATTENING OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10135211(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19970272516 |
申请日期 |
1997.10.06 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
NANCY ANN GRECO;STEVEN EDWARD GRECO |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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