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发明名称 FABRICATION OF ELECTRIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10125664(A) 申请公布日期 1998.05.15
申请号 JP19970291283 申请日期 1997.10.23
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 BRENNAN KENNETH D
分类号 C23F4/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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