| 发明名称 |
ETCHING METHOD, AND FORMING METHOD OF DIAPHRAGM WHICH USES THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10125650(A) |
申请公布日期 |
1998.05.15 |
| 申请号 |
JP19960276457 |
申请日期 |
1996.10.18 |
| 申请人 |
YAZAKI CORP |
发明人 |
WATANABE MASAYASU;KATO SEI |
| 分类号 |
C09J7/02;C09J201/00;H01L21/306;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C09J7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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