发明名称 VACUUM DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH10121223(A) 申请公布日期 1998.05.12
申请号 JP19960293240 申请日期 1996.10.15
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 HATTORI TAKESHI
分类号 G03F7/075;C23C14/00;G03F7/16;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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