发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM PROJECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10116765(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960269765 申请日期 1996.10.11
申请人 NIKON CORP 发明人 KAWADA SHINTARO
分类号 G03F7/20;G03B27/42;G03B27/58;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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