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发明名称 JIG FOR BARE CHIP TEST
摘要
申请公布号 JPH10115659(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960270945 申请日期 1996.10.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA MUNEHIRO;NISHI KUNIHIKO;IMURA KENICHI;TSUBOSAKI KUNIHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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