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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10116950(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960268366 申请日期 1996.10.09
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SHINTANI TADAYUKI
分类号 H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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