Substrat fastgj÷ringsapparat

摘要

Tilbehøret omfatter en første plate (12), en andre plate (14) for opplagring av substratet (22) under avsettingen av materialet på substratet, og hvor substratet blir opplagret på en side av den andre platen motstående til den første platen, et antall termoelektriske anordninger (30) plassert mellom den første platen og den andre platen, og hvor de termoelektriske anordningene er i termisk forbindelse med både den første platen og den andre platen, og en anordning for å styre hver av de termoelektriske anordningene slik at de genererer en termisk energi som er tilstrekkelig til å hovedsak å opprettholde en ønsket temperatur i substratet under avsettingen av materialer på substratet, og hvor en del av den termiske energien blir overført til substratet av den andre platen og en del av den termiske energien ført bort fra de termoelektriske anordningene av den første platen.