반도체 웨이퍼 카세트 박스

摘要

반도체 웨이퍼 카세트 박스가 개시된다. 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 외부로부터 가해지는 진동이나 충격을, 웨이퍼를 수용하는 카세트(22)의 상부와 박스 덮개(23)의 저면 사이에 마련된 충격흡수용 오일댐퍼(24)와, 박스(21)의 바닥과 카세트(22)의 저면 사이에 마련된 충격흡수용 가이드부재(25)를 통하여 흡수할 수 있도록 구성함으로써 웨이퍼의 보호 기능을 높인 것이다.