| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 카세트와, 웨이퍼 카세트가 안착되는 받침대와, 받침대가 업다운 동작되도록 하는 구동부와, 내부에는 로더부가 설치되되, 일측에 로더부가 이동되는 통로가 형서되는 로더박스와 웨이퍼를 로딩/언로딩시키는 로더부와, 통로의 위턱에 설치되어, 웨이퍼가 감지되는 제1센서와, 통로의 아랫턱에 설치되어, 웨이퍼가 감지되는 제2센서와, 통로에 설치되어, 웨이퍼가 감지되는 제3센서를 포함하여 이루어지는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.</p> |
