发明名称 METALLIC SILICIDE TARGET MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH10110265(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960359213 申请日期 1996.12.27
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 HIRAKAWA EIJI
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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