发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10112475(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960266836 申请日期 1996.10.08
申请人 SONY CORP 发明人 YASUDA MASAYUKI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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