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发明名称 FILM FORMING DEVICE OF DIELECTRIC MULTILAYERED FILM
摘要
申请公布号 JPH10110259(A) 申请公布日期 1998.04.28
申请号 JP19960285978 申请日期 1996.10.07
申请人 SHOWA OPUTORONIKUSU KK 发明人 MAEDA MASAHARU
分类号 G02B5/28;B05D3/10;C23C14/24;G02B1/10;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 G02B5/28
代理机构 代理人
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