| 发明名称 |
DEVICE FOR CORRECTING A MICROANGLE OF STAGE OF EXPOSURE DEVICE USING A PLANE STEP MOTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0136427(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.24 |
| 申请号 |
KR19950008814 |
申请日期 |
1995.04.14 |
| 申请人 |
SAMSUNG AEROSPACE IND. CO.,LTD |
发明人 |
KIM, HONG-ROK |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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