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发明名称 Thin-Film vapor deposition apparatus
摘要
申请公布号 EP0738788(A3) 申请公布日期 1998.04.22
申请号 EP19960106207 申请日期 1996.04.19
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 TAKEUCHI, NORIYUKI;MURAKAMI, TAKESHI;SHINOZAKI, HIROYUKI;TSUKAMOTO, KIWAMU;NAKANIWA, MASARU;MATSUDA, NAOKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/46 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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