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发明名称 METHOD FOR MEASURING SIZE OF CIRCUIT PATTERN
摘要
申请公布号 KR0134754(B1) 申请公布日期 1998.04.20
申请号 KR19930024608 申请日期 1993.11.20
申请人 TOSHIBA KK. 发明人 TSUBUSAKI, KOJI
分类号 G01B15/00;G01B15/04;H01J37/22;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/00 主分类号 G01B15/00
代理机构 代理人
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