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发明名称
WAFER HOLDER
摘要
申请公布号
KR0113530(Y1)
申请公布日期
1998.04.16
申请号
KR19940005794U
申请日期
1994.03.22
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
PARK, BYUNG-JOON;SEO, BYUNG-SUB;LEE, DAE-SUNG;LEE, SONG-KWAN
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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