发明名称 Micromechanical ring oscillator sensor
摘要
申请公布号 GB2318231(A) 申请公布日期 1998.04.15
申请号 GB19960021187 申请日期 1996.10.10
申请人 DAVID FRANK * MOORE;* CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE;JURGEN * DANIEL 发明人 DAVID FRANK * MOORE;JEAN-MICHEL * KARAM;JURGEN * DANIEL
分类号 G01D5/16;G01P15/097;G01P15/10;G01P15/12;(IPC1-7):G01P15/12 主分类号 G01D5/16
代理机构 代理人
主权项
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