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发明名称 LIFT SYSTEM OF WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0114988(Y1) 申请公布日期 1998.04.15
申请号 KR19930030458U 申请日期 1993.12.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 YU, HAE-SAN;KIM, YONG-PYO;JI, JAE-POONG;LEE, KI-YEUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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