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发明名称
PRODUCING DEVICE OF LIGHT-ACCEPTING MEMBER AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
JPH1097089(A)
申请公布日期
1998.04.14
申请号
JP19960253216
申请日期
1996.09.25
申请人
CANON INC
发明人
SHIRASAGO TOSHIYASU
分类号
G03G5/08;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):G03G5/08
主分类号
G03G5/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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