| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING COATED MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1097992(A) |
申请公布日期 |
1998.04.14 |
| 申请号 |
JP19960252634 |
申请日期 |
1996.09.25 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
KATSUKI FUTOSHI;SANO NAOYUKI |
| 分类号 |
C30B28/02;C23C14/22;H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B28/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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