| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09213809(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
| 申请号 |
JP19960020749 |
申请日期 |
1996.02.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KIKUSHIMA KENICHI;ICHINOSE KATSUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/8238;H01L21/265;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/8238 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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