| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09213791(A) |
申请公布日期 |
1997.08.15 |
| 申请号 |
JP19960016651 |
申请日期 |
1996.02.01 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEM CO LTD |
发明人 |
NEZU HIDEAKI;TAGUCHI SATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/312;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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