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发明名称 EVALUATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09213760(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960015612 申请日期 1996.01.31
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SASAKI KAZUHISA
分类号 G01R31/26;G01R31/14;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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