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发明名称 CAPACITANCE BASED TUNABLE MICROMECHANICAL RESONATORS
摘要
申请公布号 EP0834218(A1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19960923321 申请日期 1996.06.20
申请人 CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC. 发明人 ADAMS, SCOTT, G.;BERTSCH, FRED, M.;SHAW, KEVIN, A.;MACDONALD, NOEL, C.
分类号 H03H9/125;H02N1/00;H03H9/02;H03H9/205;H03H9/24;H03H9/46;(IPC1-7):H03H9/205 主分类号 H03H9/125
代理机构 代理人
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