发明名称 ON-SITE MANUFACTURE OF ULTRA-HIGH-PURITY HYDROFLUORIC ACID FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号 EP0833705(A1) 申请公布日期 1998.04.08
申请号 EP19960919223 申请日期 1996.06.05
申请人 STARTEC VENTURES, INC. 发明人 HOFFMAN, JOE, G.;CLARK, R., SCOT
分类号 B01D1/00;B01D3/00;B01D3/02;B01D3/14;B08B7/04;C01B7/07;C01B7/19;F26B7/00 主分类号 B01D1/00
代理机构 代理人
主权项
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