| 发明名称 |
ALUMINUM ALLOY AND PLASMA TREATMENT APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1088271(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960245306 |
申请日期 |
1996.09.17 |
| 申请人 |
KYUSHU MITSUI ALUM KOGYO KK;TOSHIBA CORP |
发明人 |
HASUO TOSHIHARU;GONDA MINEO;HATTORI KEI |
| 分类号 |
C25D11/04;C22C21/00;C22C21/06;H01L21/205;(IPC1-7):C22C21/06 |
主分类号 |
C25D11/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
