| 发明名称 |
DEVICE FOR FORMING THIN COATING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1088325(A) |
申请公布日期 |
1998.04.07 |
| 申请号 |
JP19960261314 |
申请日期 |
1996.09.09 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI EIJI;NISHIYAMA SATORU;OGATA KIYOSHI;MORINO HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
