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发明名称 THIN FILM FORMING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1088335(A) 申请公布日期 1998.04.07
申请号 JP19960239435 申请日期 1996.09.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ASHIDA SUMIO
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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