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发明名称 Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE4012667(C2) 申请公布日期 1998.04.02
申请号 DE19904012667 申请日期 1990.04.20
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 UENISHI, AKIO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/331;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
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