发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 本发明公开一种半导体器件,它显著缩小了元件隔离区的面积和基底电极的面积,因而促进了高集成化,该器件包括一含有N阱、P阱及深槽元件隔膜的P型半导体基片,该深槽元件隔离膜介于N阱和P阱之间,在每个N阱和P阱内分别建立P-MOSFET和N-MOSFET,形成与P-MOS-FET源电极相接触的N型基底电极被施加V<SUB>DD</SUB>电压。
申请公布号 CN1037924C 申请公布日期 1998.04.01
申请号 CN95104250.5 申请日期 1995.05.04
申请人 现代电子产业株式会社 发明人 金载甲
分类号 H01L27/092;H01L29/772;H01L21/8238;H01L21/335 主分类号 H01L27/092
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 余朦
主权项 1.一种半导体器件,包括含有N阱和P阱及深槽元件隔离膜的P型半导体基片,所说的深槽元件隔离膜介于N阱和P阱之间以及在每个N阱和P阱内分别建立的P-MOSFETT和N-MOSFET,其特征在于:在P-MOSFET源电极的一定部分形成的N型基底电极,且被施加VDD电压。
地址 韩国京畿道利川郡