发明名称 |
半导体器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开一种半导体器件,它显著缩小了元件隔离区的面积和基底电极的面积,因而促进了高集成化,该器件包括一含有N阱、P阱及深槽元件隔膜的P型半导体基片,该深槽元件隔离膜介于N阱和P阱之间,在每个N阱和P阱内分别建立P-MOSFET和N-MOSFET,形成与P-MOS-FET源电极相接触的N型基底电极被施加V<SUB>DD</SUB>电压。 |
申请公布号 |
CN1037924C |
申请公布日期 |
1998.04.01 |
申请号 |
CN95104250.5 |
申请日期 |
1995.05.04 |
申请人 |
现代电子产业株式会社 |
发明人 |
金载甲 |
分类号 |
H01L27/092;H01L29/772;H01L21/8238;H01L21/335 |
主分类号 |
H01L27/092 |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
余朦 |
主权项 |
1.一种半导体器件,包括含有N阱和P阱及深槽元件隔离膜的P型半导体基片,所说的深槽元件隔离膜介于N阱和P阱之间以及在每个N阱和P阱内分别建立的P-MOSFETT和N-MOSFET,其特征在于:在P-MOSFET源电极的一定部分形成的N型基底电极,且被施加VDD电压。 |
地址 |
韩国京畿道利川郡 |