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发明名称
摘要
申请公布号
JP2734394(B2)
申请公布日期
1998.03.30
申请号
JP19950031347
申请日期
1995.01.27
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
YAMADA SUKETAKA
分类号
G01R31/28;G01R31/3185;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;H03K3/02;H03K19/00;(IPC1-7):G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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