| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DISCHARGING GAS FROM HEAT TREATMENT OVEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1079354(A) |
申请公布日期 |
1998.03.24 |
| 申请号 |
JP19960252465 |
申请日期 |
1996.09.02 |
| 申请人 |
KOYO LINDBERGH KK;INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
NISHIMURA TAIJI;OKABE SHUICHI |
| 分类号 |
F23N5/08;F23G5/50;F23G7/06;F23J15/00;H01L21/22;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
F23N5/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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