| 发明名称 |
NON-PLASMA TYPE CHAMBER CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1072672(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
| 申请号 |
JP19970179886 |
申请日期 |
1997.07.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
DOONFUESUTO CHARLES;CHAU JUN;SHANN MEI;SHINHA ASHOTSUKU;CASTEL EGILL |
| 分类号 |
C23C16/44;C23F4/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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