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发明名称 Vakuumsbehandlungsvorrichtung und Reinigungsverfahren dafür
摘要
申请公布号 DE69128861(D1) 申请公布日期 1998.03.12
申请号 DE1991628861 申请日期 1991.08.19
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KATO, SHIGEKAZU, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;TSUBONE, TSUNEHIKO, HIKARI-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;NISHIHATA, KOUJI, TOKUYAMA-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;ITOU, ATSUSHI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP
分类号 B01J3/00;B41J2/36;B41J2/365;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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