发明名称
摘要
申请公布号 JP2726587(B2) 申请公布日期 1998.03.11
申请号 JP19910316861 申请日期 1991.11.29
申请人 TOSHIBA KK 发明人 KOMATSU BUNRO;OKUMURA KATSUYA;MYOSHI MOTOSUKE
分类号 G21K5/04;H01J37/02;H01J37/147;H01J37/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
地址