| 发明名称 |
METHOD FOR GENERATING DOPED POLYSILICON PATTERN IN MOS TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1070265(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19970129446 |
申请日期 |
1997.05.20 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
GIUSEPPE MICCOLO;RUSSO FELICE |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/027;H01L21/28;(IPC1-7):H01L29/78 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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