| 发明名称 | 金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具有气化工序的薄膜制造方法，其中，对于供给薄膜以钛、锆、铪的前体，赋予其适合作为薄膜形成用原料、特别是CVD用原料的利用加热和/或氧化的分解特性、热稳定性、蒸气压等性质。本发明还提供一种用通式(1)表示的金属醇盐化合物。式中，R<SUP>1</SUP>～R<SUP>8</SUP>各自独立地表示氢原子或甲基，M表示钛、锆或铪原子。 | ||
| 申请公布号 | CN101143873A | 申请公布日期 | 2008.03.19 |
| 申请号 | CN200710152709.3 | 申请日期 | 2007.09.14 |
| 申请人 | 株式会社艾迪科 | 发明人 | 和田仙二;阿部彻司;樱井淳;东野贵志;藤本龙作;清水雅子 |
| 分类号 | C07F7/00(2006.01);C07F7/28(2006.01);C23C16/18(2006.01);C23C16/30(2006.01);C23C16/40(2006.01);C23C16/448(2006.01) | 主分类号 | C07F7/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈建全 |
| 主权项 | 1.一种用下述通式(1)表示的金属醇盐化合物；<img file="A2007101527090002C1.GIF" wi="862" he="615" />式中，R<sup>1</sup>～R<sup>8</sup>各自独立地表示氢原子或甲基，M表示钛、锆或铪原子。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||