热处理方法及热处理装置

摘要

热处理方法,系包含:将成膜了low-k膜及配线层之晶圆W,收容于热处理炉41内之工程、和于热处理炉41内,将气相的无水醋酸藉由质流控制器44d而一面调整流量同时供给之工程、和将在供给了气相的无水醋酸之热处理炉41内的晶圆W,藉由设置于热处理炉41的加热器41b而加热的工程。