| 发明名称 |
PLASMA REACTOR HAVING HEAT SOURCE OF POLYMER HARDENING PRECURSOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1064882(A) |
申请公布日期 |
1998.03.06 |
| 申请号 |
JP19970122676 |
申请日期 |
1997.05.13 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
COLLINS KENNETH S;RICE MICHAEL;GROECHEL DAVID W;YIN GERALD ZHEYAO;MOHN JON;RODERICK CRAIG A;BUCHBERGER DOUGLAS;YANG CHAN-LON;WONG YUEN-KUI;MARKS JEFFREY;KESWICK PETER |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/517;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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