发明名称 ION-IRRADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1064476(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960238535 申请日期 1996.08.20
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIGAMI YASUAKI
分类号 G21K5/04;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G21K5/04
代理机构 代理人
主权项
地址